European Committee for Electrotechnical Standardization

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 6: Axial fatigue testing methods of thin film materials
 N EN 62047-6

Annotation

This International Standard specifies the method for axial tensile–tensile force fatigue testing of thin film materials with a length and width under 1 mm and a thickness in the range between 0,1 m and 10 m under constant force range or constant displacement range. Thin films are used as main structural materials for MEMS and micromachines.

The main structural materials for MEMS, micromachines, etc., have special features, such as typical dimensions of a few microns, material fabrication by deposition, and test piece fabrication by means of non-mechanical machining, including photolithography. This International Standard specifies the axial force fatigue testing methods for micro-sized smooth specimens, which enables a guarantee of accuracy corresponding to the special features. The tests are carried out at room temperatures, in air, with loading applied to the test piece along the longitudinal axis.

Автоматический перевод:

Полупроводниковые устройства - Микроэлектромеханические устройства - Часть 6: Осевые методы испытания на усталость тонкопленочных материалов

Этот Международный стандарт определяет метод для осевого испытания на усталость растяжимого растягивающего усилия тонкопленочных материалов с длиной и шириной менее чем 1 мм и толщиной в диапазоне между 0,1 m и 10 m под постоянным диапазоном силы или постоянным диапазоном смещения. Тонкие пленки используются в качестве основных структурных материалов для MEMS и микромашин.