European Committee for Electrotechnical Standardization

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices Part 3: Thin film standard test piece for tensile testing
 N EN 62047-3

Annotation

This International Standard specifies a standard test piece, which is used to guarantee the propriety and accuracy of a tensile testing system for thin film materials with length and width under 1 mm and thickness under 10 µm, which are main structural materials for microelectromechanical systems (MEMS), micromachines and similar devices.

This International Standard is based on such a concept that a tensile testing system can be guaranteed in propriety and accuracy, when the measured tensile strengths of the standard test pieces, whose tensile strength is pre-determined, are within the designated range. It also specifies the test pieces to minimize characteristics deviation among the pieces.

Автоматический перевод:

Полупроводниковые устройства - Микроэлектромеханическая Часть 3 устройств: Тонкопленочный испытательный образец стандарта для испытания на растяжение

Этот Международный стандарт определяет стандартный испытательный образец, использующийся для гарантии уместности и точности системы испытания на растяжение для тонкопленочных материалов с длиной и шириной менее чем 1 мм и толщиной менее чем 10 мкм, которые являются основными структурными материалами для микроэлектромеханических систем (MEMS), микромашин и аналогичных устройств.