International Organization for Standardization

Surface chemical analysis - Sputter depth profiling - Optimization using layered systems as reference materials - Second edition
 N 14606

Annotation

This International Standard gives guidance on the optimization of sputter-depth profiling parameters using appropriate single-layered and multilayered reference materials in order to achieve optimum depth resolution as a function of instrument settings in Auger electron spectroscopy, X-ray photoelectron spectroscopy and secondary ion mass spectrometry.

This International Standard is not intended to cover the use of special multilayered systems such as delta doped layers.

Автоматический перевод:

Поверхностный химический анализ - профилирование глубины Брызг - Оптимизация с помощью выложенных слоями систем в качестве справочных материалов - Второй выпуск

Этот Международный стандарт дает указания на оптимизацию глубины брызг профильные параметры с помощью соответствующих однослойных и многослойных справочных материалов для достижения оптимальной резолюции глубины как функции параметров настройки инструмента в спектроскопии Оже-электрона, спектроскопии фотоэлектрона Рентгеновских лучей и масс-спектрометрии вторичного иона.