International Organization for Standardization

Microbeam analysis - Electron probe microanalysis - Guidelines for the determination of experimental parameters for wavelength dispersive spectroscopy - Second Edition
 N 14594

Annotation

This International Standard gives the general guidelines for the determination of experimental parameters relating to the primary beam, the wavelength spectrometer, and the sample that need to be taken into account when carrying out electron probe microanalysis. It also defines procedures for the determination of beam current, current density, dead time, wavelength resolution, background, analysis area, analysis depth, and analysis volume.

This International Standard is intended for the analysis of a well-polished sample using normal beam incidence, and the parameters obtained can only be indicative for other experimental conditions.

This International Standard is not designed to be used for energy dispersive X-ray spectroscopy.

Автоматический перевод:

Анализ микролуча - Электрон исследует микроанализ - Рекомендации для определения экспериментальных параметров для длины волны дисперсионная спектроскопия - Второй Выпуск

Этот Международный стандарт дает общие руководящие принципы для определения экспериментальных параметров, касающихся основного луча, спектрометра длины волны и образца, который должен быть принят во внимание при выполнении электронного микроанализа исследования. Это также определяет процедуры для определения тока луча, плотности тока, времени задержки материала, резолюции длины волны, фона, аналитической области, аналитической глубины и аналитического объема.