Deutsches Institut fur Normung e. V.

Microbeam analysis - Selected instrumental performance parameters for the specification and checking of energy-dispersive X-ray spectrometers for use in electron probe microanalysis (:2012)
 N ISO 15632

Annotation

This International Standard defines the most important quantities that characterize an energy-dispersive X ray spectrometer consisting of a semiconductor detector, a pre-amplifier and a signal-processing unit as the essential parts. This International Standard is only applicable to spectrometers with semiconductor detectors operating on the principle of solid-state ionization. This International Standard specifies minimum requirements and how relevant instrumental performance parameters are to be checked for such spectrometers attached to a scanning electron microscope (SEM) or an electron probe microanalyser (EPMA). The procedure used for the actual analysis is outlined in ISO 22309[2] and ASTM E1508[3]and is outside the scope of this International Standard.

Автоматический перевод:

Анализ микролуча - Отобранные инструментальные эксплуатационные параметры для спецификации и проверки энергетическо-дисперсионных спектрометров Рентгеновских лучей для использования в электронно-зондовом анализе (ISO 15632:2012)

Этот Международный стандарт определяет самые важные количества, которые характеризуют дисперсионный энергией спектрометр X ray, состоящий из полупроводникового детектора, предусилителя и модуля обработки сигналов как основные части. Этот Международный стандарт только применим к спектрометрам с полупроводниковыми детекторами, воздействующими на принцип твердотельной ионизации. Этот Международный стандарт указывает минимальные требования и как соответствующие инструментальные эксплуатационные параметры должны быть проверены на такие спектрометры, присоединенные к сканирующему электронному микроскопу (SEM) или электронному тестовому микроанализатору (EPMA). Процедура, используемая для фактического анализа, обрисована в общих чертах в ISO 22309[2] и ASTM E1508[3] и выходит за рамки этого Международного стандарта.