European Committee for Electrotechnical Standardization

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 11: Test method for coefficients of linear thermal expansion of free-standing materials for micro-electromechanical systems
 N EN 62047-11

Annotation

This part of IEC 62047 specifies the test method to measure the linear thermal expansion coefficients (CLTE) of thin free-standing solid (metallic, ceramic, polymeric etc.) microelectro- mechanical system (MEMS) materials with length between 0,1 mm and 1 mm and width between 10 m and 1 mm and thickness between 0,1 m and 1 mm, which are main structural materials used for MEMS, micromachines and others. This test method is applicable for the CLTE measurement in the temperature range from room temperature to 30 % of a material's melting temperature.

Автоматический перевод:

Полупроводниковые устройства - Микроэлектромеханические устройства - Часть 11: Метод тестирования для коэффициентов линейного теплового расширения автономных материалов для микроэлектромеханических систем

Эта часть IEC 62047 определяет метод тестирования измерить линейные тепловые коэффициенты расширения (CLTE) тонкого автономного тела (металлический, керамический, полимерный и т.д.) microelectro-механическая система (MEMS) материалы с длиной между 0,1 мм и 1 мм и шириной между 10 m и 1 мм и толщиной между 0,1 m и 1 мм, которое является основными структурными материалами, используемыми для MEMS, микромашин и других. Этот метод тестирования применим для измерения CLTE в диапазоне температур от комнатной температуры до 30% температуры плавления материала.