DIN 32567-2 Production equipment for microsystems - Determination of the influence of materials on the optical and tactile dimensional metrology - Part 2: Specimen for tactile procedures
Данный раздел/документ содержится в продуктах:
- Техэксперт: Машиностроительный комплекс
- Картотека зарубежных и международных стандартов
- 39
- DIN 32567-3 Production equipment for microsystems - Determination of the influence of materials on the optical and tactile dimensional metrology - Part 3: Derivation of correction values for tactile measuring devices
- DIN 32567-2 Production equipment for microsystems - Determination of the influence of materials on the optical and tactile dimensional metrology - Part 2: Specimen for tactile procedures
- DIN 32564-1 Production equipment for micro-systems - Terms and definitions - Part 1: General terms of micro-system technology
- Картотека зарубежных и международных стандартов
Deutsches Institut fur Normung e. V.
Production equipment for microsystems - Determination of the influence of materials on the optical and tactile dimensional metrology - Part 2: Specimen for tactile procedures
N 32567-2
Автоматический перевод:
Производственное оборудование для микросистем - Определение влияния материалов на оптической и осязательной размерной метрологии - Часть 2: Экземпляр для осязательных процедур
Германский промышленный стандарт 32 567 описывает систематические влияния и отклонения при измерении толщин слоя и поэтапных высот микроструктур из неоднородных материалов выбранными тактильными и оптическими измерительными приборами. Германский промышленный стандарт 32 567 вкладывает процесс, с которыми устанавливаются качествами материала и методами измерения вызванные систематические измерительные отклонения и исправляются.
Эта часть германского промышленного стандарта 32 567 описывает проверочное тело для топографических измерений толщин слоя тактильными процессами к исследованию систематических эффектов, которые встречаются, если слой и субстрат обнаруживают разные физические качества.
