Deutsches Institut fur Normung e. V.

Production equipment for microsystems - Determination of the influence of materials on the optical and tactile dimensional metrology - Part 3: Derivation of correction values for tactile measuring devices
 N 32567-3

Автоматический перевод:

Производственное оборудование для микросистем - Определение влияния материалов на оптической и осязательной размерной метрологии - Часть 3: Происхождение исправления оценивает за осязательные измерительные приборы

Германский промышленный стандарт 32 567 описывает систематические влияния и отклонения при измерении толщин слоя и поэтапных высот микроструктур из неоднородных материалов выбранными тактильными и оптическими измерительными приборами. Германский промышленный стандарт 32 567 вкладывает процесс, с которыми устанавливаются качествами материала и методами измерения вызванные систематические измерительные отклонения и исправляются.

Эта часть германского промышленного стандарта 32 567 описывает систематические факторы влияния для тактильного измерения толщин слоя и поэтапных высот микроструктур из неоднородных материалов. Кроме того, эта часть германского промышленного стандарта вкладывает 32 567 процессов, с которыми могут устанавливаться эти факторы влияния и исправляться. Вследствие этого это становится возможным достигать более точных измерительных результатов.