ЭЛЕКТРОННО-ЗОНДОВЫЙ МИКРОАНАЛИЗ

(electron probe microanalysis)

Методика элементного анализа, обладающего пространственным разрешением; методика основана на рентгеновской спектрометрии, при которой для возбуждения рентгеновского излучения используется сфокусированный электронный пучок, а характерная область взаимодействия электронного пучка с материалом и область возбуждения рентгеновского излучения имеют микронные или субмикронные размеры.

"ГОСТ Р ИСО 22309-2015 ГСИ. Микроанализ электронно-зондовый. Количественный анализ с использованием энергодисперсионной спектрометрии для элементов с атомным номером от 11 (Na) и выше" от 06.07.2015 г.