International Organization for Standardization

Surface chemical analysis - Medium-resolution Auger electron spectrometers - Calibration of energy scales for elemental analysis - Second Edition
 N 17973

Annotation

This International Standard specifies a method for calibrating the kinetic energy scales of Auger electron spectrometers with an uncertainty of 3 eV, for general analytical use in identifying elements at surfaces. In addition, it specifies a method for establishing a calibration schedule. It is applicable to instruments used in either direct or differential mode, where the resolution is less than or equal to 0,5 % and the modulation amplitude for the differential mode, if used, is 2 eV peak-to-peak. It is applicable to those spectrometers equipped with an inert gas ion gun or other method for sample cleaning and with an electron gun capable of operating at 4 keV or higher beam energy.

Автоматический перевод:

Поверхностный химический анализ - спектрометры Оже-электрона Средней резолюции - Калибровка энергетических весов для элементного анализа - Второй Выпуск

Этот Международный стандарт определяет метод для калибровки весов кинетической энергии спектрометров Оже-электрона с неуверенностью 3 эВ для общего аналитического использования в идентификации элементов в поверхностях. Кроме того, это определяет метод для установления графика калибровки. Это применимо к инструментам, используемым или в прямом или в отличительном способе, где резолюция меньше чем или равна 0,5%, и амплитуда модуляции для отличительного способа, если используется, является от пика к пику на 2 эВ. Это применимо к тем спектрометрам, вооруженным оружием иона инертного газа или другим методом для типовой очистки и с электронным прожектором, способным к работе в 4 кэВ или более высокой энергии пучка.