ASTM International

Standard Guide for Measuring Widths of Interfaces in Sputter Depth Profiling Using SIMS
 N E1438

Annotation

This guide provides the SIMS analyst with a method for determining the width of interfaces from SIMS sputtering data obtained from analyses of layered specimens. This guide does not apply to data obtained from analyses of specimens with thin markers or specimens without interfaces such as ionimplanted specimens.

This guide does not describe methods for the optimization of interface width or the optimization of depth resolution.

This standard does not purport to address all of the safety concerns, if any, associated with its use. It is the responsibility of the user of this standard to establish appropriate safety and health practices and determine the applicability of regulatory limitations prior to use.

Автоматический перевод:

Типичный гид для измерения ширин интерфейсов в профилировании глубины распылителя Используя SIMS

Это руководство предоставляет аналитику SIMS из метода для определения ширины интерфейсов от данных распыления SIMS, полученных из исследований многоуровневых экземпляров. Это руководство не применяется к данным, полученным из исследований экземпляров с тонкими маркерами или экземпляров без интерфейсов, таких как ионно-имплантированные экземпляры.