МАСС-СПЕКТРОМЕТРИЯ ВТОРИЧНЫХ ИОНОВ

МСВИ

secondary-ion mass spectrometry; SIMS

Метод исследования объекта с помощью масс-спектрометра, основанный на регистрации совокупности распределенных в пространстве и/или во времени вторичных ионов объекта, разделенных по значениям отношения массы иона к его заряду и возникающих при бомбардировке поверхности объекта потоком первичных ионов.

Примечание - МСВИ подразделяют на динамическую, применяемую для определения элементного состава нескольких слоев исследуемого объекта как функции глубины, и статическую, применяемую для элементного анализа поверхностного монослоя исследуемого объекта (с целью предотвращения повреждения поверхности исследуемого объекта плотность потока первичных ионов должна быть не более 10 ионов/м).