СПЕКТРОСКОПИЯ ХАРАКТЕРИСТИЧЕСКИХ ПОТЕРЬ ЭНЕРГИИ ЭЛЕКТРОНАМИ

СХПЭЭ

electron energy loss spectroscopy; EELS

Метод исследования объекта с помощью электронного спектрометра, основанный на регистрации энергетических спектров неупруго рассеянных электронов, испускаемых моноэнергетическим источником и потерявших фиксированные порции энергии в процессе взаимодействия с объектом.

Примечания

1 Значения энергетических спектров электронов, полученные с помощью СХПЭЭ, будут близки к значениям, полученным с помощью электронной оже-спектроскопии (ЭОС) или рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии (РФЭС), а пики характеристических потерь энергии электронов расположены вблизи пика упруго отраженных электронов.