РАСТРОВАЯ ЭЛЕКТРОННАЯ МИКРОСКОПИЯ

РЭМ (Нрк. сканирующая электронная микроскопия; СЭМ)

scanning electron microscopy; SEM

Метод исследования структуры, состава и формы объекта с помощью микроскопа, формирующего изображение объекта путем сканирования его поверхности электронным зондом (электронным пучком) и регистрации характеристик вторичных процессов, индуцируемых электронным зондом (например, вторичная электронная эмиссия, обратное рассеяние электронов и рентгеновское излучение).

[ISO 17751, статья 4.10, определение термина изменено]

"ГОСТ ISO/TS 80004-6-2016 Нанотехнологии. Часть 6. Характеристики нанообъектов и методы их определения. Термины и определения" от 09.11.2016 г.