Физическое травление; травление распылением
Список продуктов
Данный раздел/документ содержится в продуктах:
Данный раздел/документ содержится в продуктах:
- Техэксперт: Нормы, правила, стандарты и законодательство России
- Техэксперт: Нефтегазовый комплекс
- Техэксперт: Машиностроительный комплекс
ФИЗИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИЕ; ТРАВЛЕНИЕ РАСПЫЛЕНИЕМ
Physical etching;
sputter etching
Процесс управляемого удаления поверхностного слоя материала с подложки путем его распыления под действием кинетической энергии ионов инертного газа (например, аргона).
Примечание - Физическое травление относят к анизотропным и неизбирательным процессам травления.
ФИЗИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИЕ; ТРАВЛЕНИЕ РАСПЫЛЕНИЕМ
Physical etching; sputter etching
