Сухое озоление
Список продуктов
Данный раздел/документ содержится в продуктах:
Данный раздел/документ содержится в продуктах:
- Техэксперт: Нормы, правила, стандарты и законодательство России
- Техэксперт: Нефтегазовый комплекс
- Техэксперт: Машиностроительный комплекс
СУХОЕ ОЗОЛЕНИЕ
Dry-ashing
Вид химического травления с применением газообразных химических веществ, в процессе которого происходит преобразование материала в области, подвергаемой травлению, в летучее удаляемое соединение.
Пример - Удаление с подложки шаблона из фоторезиста с применением кислорода.
СУХОЕ ОЗОЛЕНИЕ
Dry-ashing
Вид химического травления с применением газообразных химических веществ, в процессе которого происходит преобразование материала в области, подвергаемой травлению, в летучее удаляемое соединение.
