Глубокое реактивное ионное травление
Список продуктов
Данный раздел/документ содержится в продуктах:
Данный раздел/документ содержится в продуктах:
- Техэксперт: Нормы, правила, стандарты и законодательство России
- Техэксперт: Нефтегазовый комплекс
- Техэксперт: Машиностроительный комплекс
ГЛУБОКОЕ РЕАКТИВНОЕ ИОННОЕ ТРАВЛЕНИЕ
ГРИТ
deep reactive ion etching; DRIE
Процесс анизотропного травления, применяемый для получения на подложке структур, элементы которых имеют заданное соотношение геометрических размеров.
Пример - Отверстия и канавки с вертикальными стенками.
Примечание - К глубокому реактивному ионному травлению относят Бош-травление и криогенное травление.
ГЛУБОКОЕ РЕАКТИВНОЕ ИОННОЕ ТРАВЛЕНИЕ
