Физическое осаждение из газовой фазы
Список продуктов
Данный раздел/документ содержится в продуктах:
Данный раздел/документ содержится в продуктах:
- Техэксперт: Нормы, правила, стандарты и законодательство России
- Техэксперт: Нефтегазовый комплекс
- Техэксперт: Машиностроительный комплекс
ФИЗИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ
ФОГФ
physical vapour deposition; PVD
Процесс нанесения покрытия испарением исходного материала с последующей его конденсацией на подложке в условиях вакуума.
[ISO 2080, статья 2.12]
ФИЗИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ
ФОГФ
physical vapour deposition; PVD
Процесс нанесения покрытия испарением исходного материала с последующей его конденсацией на подложке в условиях вакуума.
