Фотолитография; оптическая литография
Список продуктов
Данный раздел/документ содержится в продуктах:
Данный раздел/документ содержится в продуктах:
- Техэксперт: Нормы, правила, стандарты и законодательство России
- Техэксперт: Нефтегазовый комплекс
- Техэксперт: Машиностроительный комплекс
ФОТОЛИТОГРАФИЯ; ОПТИЧЕСКАЯ ЛИТОГРАФИЯ
Photolithography;
optical lithography
Процесс получения изображения на подложке путем облучения фоторезиста, покрывающего подложку, электромагнитным излучением через заданный шаблон.
Примечание - Как правило, для изготовления шаблона используют материал фоторезиста.
ФОТОЛИТОГРАФИЯ; ОПТИЧЕСКАЯ ЛИТОГРАФИЯ
Photolithography; optical lithography
