Интерференционная литография
Список продуктов
Данный раздел/документ содержится в продуктах:
Данный раздел/документ содержится в продуктах:
- Техэксперт: Нормы, правила, стандарты и законодательство России
- Техэксперт: Нефтегазовый комплекс
- Техэксперт: Машиностроительный комплекс
ИНТЕРФЕРЕНЦИОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ
Interference lithography
Процесс формирования рельефного изображения размерами в нанодиапазоне путем соответствующей обработки облученного резиста, на поверхности которого с помощью дифракционных решеток получена интерференционная картина.
ИНТЕРФЕРЕНЦИОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ
Interference lithography
Процесс формирования рельефного изображения размерами в нанодиапазоне путем соответствующей обработки облученного резиста, на поверхности которого с помощью дифракционных решеток получена интерференционная картина.
