Иммерсионная оптическая литография
Список продуктов
Данный раздел/документ содержится в продуктах:
Данный раздел/документ содержится в продуктах:
- Техэксперт: Нормы, правила, стандарты и законодательство России
- Техэксперт: Нефтегазовый комплекс
- Техэксперт: Машиностроительный комплекс
ИММЕРСИОННАЯ ОПТИЧЕСКАЯ ЛИТОГРАФИЯ
Immersion optics
Литография с повышенной разрешающей способностью, полученной за счет заполнения воздушного промежутка между последней линзой объектива микроскопа и пленкой фоторезиста жидкостью с соответствующим показателем преломления.
ИММЕРСИОННАЯ ОПТИЧЕСКАЯ ЛИТОГРАФИЯ
Immersion optics
Литография с повышенной разрешающей способностью, полученной за счет заполнения воздушного промежутка между последней линзой объектива микроскопа и пленкой фоторезиста жидкостью с соответствующим показателем преломления.
