ПЕРЬЕВАЯ НАНОЛИТОГРАФИЯ

Dip-pen nanolithography

Процесс формирования рельефного изображения размерами менее 100 нм в соответствии с заданным шаблоном путем переноса специального материала на подложку с помощью зонда атомно-силового микроскопа, происходящего за счет диффузии через водный мениск между поверхностью подложки и зондом.

Примечания

1 На острие зонда атомно-силового микроскопа наносят молекулы или наночастицы специального материала и переносят их на подложку, формируя рельефное изображение, состоящее из одного или нескольких слоев наносимого материала.

2 Dip-Pen Nanolithography - торговая марка чернил, выпускаемых компанией NanoInk Inc. Данные сведения приведены как пример для правильного понимания текста настоящего стандарта. В стандартах Международной организации по стандартизации (ИСО) термин dip-pen nanolithography не обозначает понятие "чернила". Термин "перьевая нанолитография" допускается применять для обозначения аналогичной продукции.