Испарение
Список продуктов
Данный раздел/документ содержится в продуктах:
Данный раздел/документ содержится в продуктах:
- Техэксперт: Нормы, правила, стандарты и законодательство России
- Техэксперт: Нефтегазовый комплекс
- Техэксперт: Машиностроительный комплекс
ИСПАРЕНИЕ
Vaporization
Процесс перехода вещества из твердой или жидкой фазы в газовую или плазменную фазы.
Примечания
1 Процесс испарения применяют для осаждения материала на подложку. Процесс испарения лежит в основе процессов физического осаждения из газовой фазы (ФОГФ) [7].
2 Процессы ФОГФ в условиях высокого вакуума происходят при давлении в диапазоне от 10
до 10
торр, в условиях сверхвысокого вакуума - при давлении ниже 10 торр.
