Модулированное осаждение веществ
Список продуктов
Данный раздел/документ содержится в продуктах:
Данный раздел/документ содержится в продуктах:
- Техэксперт: Нормы, правила, стандарты и законодательство России
- Техэксперт: Нефтегазовый комплекс
- Техэксперт: Машиностроительный комплекс
МОДУЛИРОВАННОЕ ОСАЖДЕНИЕ ВЕЩЕСТВ
Modulated elemental reacted method
Процесс формирования чередующихся слоев двух или более веществ путем последовательного осаждения из газовой фазы каждого из исходных веществ на заданных участках подложки.
МОДУЛИРОВАННОЕ ОСАЖДЕНИЕ ВЕЩЕСТВ
Modulated elemental reacted method
Процесс формирования чередующихся слоев двух или более веществ путем последовательного осаждения из газовой фазы каждого из исходных веществ на заданных участках подложки.
