International Organization for Standardization

Microbeam analysis — Analytical transmission electron microscopy — Methods for calibrating image magnification by using reference materials having periodic structures - First Edition
 N 29301

Annotation

This International Standard specifies a calibration procedure applicable to images recorded over a wide magnification range in a transmission electron microscope (TEM). The reference materials used for calibration possess a periodic structure, such as a diffraction grating replica, a super-lattice structure of semiconductor or an analysing crystal for X-ray analysis, and a crystal lattice image of carbon, gold or silicon. This International Standard is applicable to the magnification of the TEM image recorded on a photographic film, or an imaging plate, or detected by an image sensor built into a digital camera. This International Standard also refers to the calibration of a scale bar. This International Standard does not apply to the dedicated critical dimension measurement TEM (CD-TEM) and the scanning transmission electron microscope (STEM).

Автоматический перевод:

Анализ микропучка — Аналитическая микроскопия электрона передачи — Методы для калибровки увеличения изображения при помощи ссылочных материалов, имеющих периодические структуры - Первый Выпуск

Этот Международный стандарт определяет процедуру калибровки, применимую к изображениям, зарегистрированным по широкому диапазону увеличения в трансмиссионном электронном микроскопе (TEM). Ссылочные материалы, используемые для калибровки, обладают периодической структурой, такой как копия дифракционной решетки, структура сверхрешетки полупроводника или кристалла анализа для Рентгенографического анализа и изображения кристаллической решетки углерода, золота или кремния. Этот Международный стандарт применим к увеличению изображения TEM, зарегистрированного на фотопленке или пластине обработки изображений, или обнаруженный формирователем изображения, встроенным в цифровой фотоаппарат. Этот Международный стандарт также относится к калибровке шкалы. Этот Международный стандарт не применяется к специализированному критическому измерению размерности TEM (CD-TEM) и сканирующий трансмиссионный электронный микроскоп (STEM).