International Electrotechnical Commission

Semiconductor devices – Micro-electromechanical devices – Part 11: Test method for coefficients of linear thermal expansion of free-standing materials for micro-electromechanical systems - Edition 1.0
 N 62047-11

Annotation

This part of IEC 62047 specifies the test method to measure the linear thermal expansion coefficients (CLTE) of thin free-standing solid (metallic, ceramic, polymeric etc.) microelectro- mechanical system (MEMS) materials with length between 0,1 mm and 1 mm and width between 10 m and 1 mm and thickness between 0,1 m and 1 mm, which are main structural materials used for MEMS, micromachines and others. This test method is applicable for the CLTE measurement in the temperature range from room temperature to 30 % of a material's melting temperature.

Автоматический перевод:

Полупроводниковые устройства – Микроэлектромеханические устройства – Часть 11: Метод тестирования для коэффициентов линейного теплового расширения автономных материалов для микроэлектромеханических систем - Выпуск 1.0

Эта часть IEC 62047 определяет метод тестирования измерить линейные тепловые коэффициенты расширения (CLTE) тонкого автономного тела (металлический, керамический, полимерный и т.д.) microelectro-механическая система (MEMS) материалы с длиной между 0,1 мм и 1 мм и шириной между 10 m и 1 мм и толщиной между 0,1 m и 1 мм, которое является основными структурными материалами, используемыми для MEMS, микромашин и других. Этот метод тестирования применим для измерения CLTE в диапазоне температур от комнатной температуры до 30% температуры плавления материала.