European Committee for Electrotechnical Standardization

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 17: Bulge test method for measuring mechanical properties of thin films
 N EN 62047-17

Annotation

This part of IEC 62047 specifies the method for performing bulge tests on the free-standing film that is bulged within a window. The specimen is fabricated with micro/nano structural film materials, including metal, ceramic and polymer films, for MEMS, micromachines and others. The thickness of the film is in the range of 0,1 m to 10 m, and the width of the rectangular and square membrane window and the diameter of the circular membrane range from 0,5 mm to 4 mm.

The tests are carried out at ambient temperature, by applying a uniformly-distributed pressure to the testing film specimen with bulging window.

Elastic modulus and residual stress for the film materials can be determined with this method.

Автоматический перевод:

Полупроводниковые устройства - Микроэлектромеханические устройства - Часть 17: метод тестирования Выпуклости для измерения механических свойств тонких пленок

Эта часть IEC 62047 определяет метод для выполнения тестов выпуклости на автономном фильме, выпирающемся в окне. Экземпляр производится с микро/нано структурными пленочными материалами, включая металлические, керамические и полимерные пленки, для MEMS, микромашин и других. Толщина фильма находится в диапазоне 0,1 m к 10 m, и ширине прямоугольного и квадратного мембранного окна и диаметре кругового мембранного диапазона от 0,5 мм до 4 мм.