2 Объекты измерений

• 2.1 Поверхности

• 2.2 Оптические элементы, работающие на пропускание

• 2.3 Оптические системы

• 2.4 Косвенное измерение характеристик оптических элементов

3 Основные аспекты аппаратного обеспечения интерферометра и соблюдения условий выполнения эксперимента

• 3.1 Общие сведения

• 3.2 Принципы конструирования и влияния на качество измерений

  • Рисунок 1 - Изображения и вершин опорной (референтной) и измеряемой поверхностей друг относительно друга

  • Рисунок 2 - Зависимость V("эта")

  • Рисунок 3 - Оптические схемы с неодинаковыми коэффициентами отражения измеряемой и референтной (опорной) поверхностей

• 3.3 Условия выполнения измерений

4 Способы оценки оптической разности хода

• 4.1 Общие сведения

• 4.2 Визуальный анализ интерферограмм

  • Рисунок 4 - Смещение полос в случаях вогнутости и выпуклости, соответственно

  • Рисунок 5 - Смещение полос в случае вогнутой и выпуклой поверхностей соответственно

  • Рисунок 6 - Движение полос

  • Рисунок 7 - Интерферограммы испытуемых объектов без заметных аберраций

  • Рисунок 8 - Интерферограммы контролируемых систем при наличии небольших аберраций

• 4.3 Ручная обработка и измерение по интерферограммам

  • Рисунок 9 - Ручная обработка интерферограмм

• 4.4 Фазовые измерения с использованием временной несущей

• 4.6 Исключение фазовых неоднозначностей

• 4.7 Регистрация волновых фронтов; системы координат, определение систем координат

• 4.8 Полиномиальные и другие способы отображения волновых фронтов

5 Протоколы испытаний и калибровочные сертификаты

• 5.1 Общие сведения

• 5.2 Содержание протоколов испытаний и калибровочных сертификатов

• 5.3 Протоколы испытаний

• 5.4 Калибровочные сертификаты

• 5.5 Мнения и рекомендации

• 5.6 Электронная передача результатов

• 5.7 Формат протоколов и сертификатов

• 5.8 Модернизация (уточнения, дополнения) протоколов испытаний и калибровочных сертификатов

Приложение А (справочное). Ортогональные полиномы

• Рисунок А.1 - Изображение ортогонального множества Цернике (Z0-Z35)

• Рисунок А.2 - Изображение визуализованного множества Лежандра (2D), ортогонального множеству (L0-L20)

• Рисунок А.3 - Пример визуализованного альтернативного множества (В0-В35) для квадратных поверхностей на базе множества Цернике (Z0-Z35)