ПОВЕРХНОСТНОЕ СОПРОТИВЛЕНИЕ ПЛЕНКИ

(sheet resistance, )

Величина сопротивления пленки, имеющей равномерную номинальную толщину.

Примечания

1 Значение поверхностного сопротивления двумерных (х-у) пленок, имеющих прямоугольную форму (форму ленты), определяют по формуле , где - значение сопротивления , - расстояние между соседними зондами, расположенными параллельно и применяемыми для измерения напряжения, ; - длина этих зондов (длина зондов соответствует ширине измеряемого образца). Электрический ток, , должен протекать вдоль, а не перпендикулярно, поверхности образца (см. рисунок 4). Соотношение - соотношение сторон поверхности измеряемого образца. Для целей настоящего стандарта единица измерения поверхностное сопротивление пленок, , будет выражена в омах (Ом) с учетом соотношения .