Чувствительный элемент микроэлектромеханического преобразователя физических величин
Список продуктов
Данный раздел/документ содержится в продуктах:
Данный раздел/документ содержится в продуктах:
- Техэксперт: Нормы, правила, стандарты и законодательство России
- Техэксперт: Нефтегазовый комплекс
- Техэксперт: Машиностроительный комплекс
ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ЭЛЕМЕНТ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКОГО ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯ ФИЗИЧЕСКИХ ВЕЛИЧИН
Механическое микроустройство, изменяющее свои параметры под воздействием измеряемой физической величины и обеспечивающее формирование электрического измерительного сигнала в составе измерительной цепи микроэлектромеханического преобразователя.
