Магнитный электроразрядный вакуумный насос
Список продуктов
Данный раздел/документ содержится в продуктах:
Данный раздел/документ содержится в продуктах:
- Техэксперт: Нормы, правила, стандарты и законодательство России
- Техэксперт: Нефтегазовый комплекс
- Техэксперт: Машиностроительный комплекс
МАГНИТНЫЙ ЭЛЕКТРОРАЗРЯДНЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС
D. 
Е. Sputter ion pump
F. Pompe ionique 
Геттерно-ионный вакуумный насос, в котором для распыления геттера используют газовый разряд в магнитном поле
