Геттерно-ионный вакуумный насос
Список продуктов
Данный раздел/документ содержится в продуктах:
Данный раздел/документ содержится в продуктах:
- Техэксперт: Нормы, правила, стандарты и законодательство России
- Техэксперт: Нефтегазовый комплекс
- Техэксперт: Машиностроительный комплекс
ГЕТТЕРНО-ИОННЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС
D. lonengettervakuumpumpe
Е. Getter ion vacuum pump
F. Pompe 
vide ionique sorbeur
Геттерный вакуумный насос, в котором, наряду с хемосорбцией, возникает ионизация газа с последующим внедрением ускоренных ионов в поверхность распыленного геттера
