Чувствительность электронорезиста к потоку электронов
Список продуктов
Данный раздел/документ содержится в продуктах:
Данный раздел/документ содержится в продуктах:
- Техэксперт: Нормы, правила, стандарты и законодательство России
- Техэксперт: Нефтегазовый комплекс
- Техэксперт: Машиностроительный комплекс
ЧУВСТВИТЕЛЬНОСТЬ ЭЛЕКТРОНОРЕЗИСТА К ПОТОКУ ЭЛЕКТРОНОВ
Параметр электронорезиста, количественно характеризующий способность к изменению под воздействием ускоренного потока электронов химических свойств с переходом в нерастворимое (негативный) или растворимое (позитивный) состояние.
