The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc.

Nanomanufacturing – Large scale manufacturing for nanoelectronics
 N 62659

Annotation

This International Standard provides a framework for introducing nanoelectronics into large scale, high volume production in semiconductor manufacturing facilities through the incorporation of nanomaterials (e.g. carbon nanotubes, graphene, quantum dots, etc.). Since semiconductor manufacturing facilities need to incorporate practices that maintain high yields, there are very strict requirements for how manufacturing is performed. Nanomaterials represent a potential contaminant in semiconductor manufacturing facilities and need to be introduced in a structured and methodical way.

This International Standard provides steps employed to facilitate the introduction of nanomaterials into the semiconductor manufacturing facilities. This sequence is described below under the areas of raw materials acquisition, materials processing, design, IC fabrication, testing, and end-use. These activities represent the major stages of the supply chain in semiconductor manufacturing facilities.

Автоматический перевод:

Нанопроизводство – Крупномасштабное производство для наноэлектроники

Этот Международный стандарт служит основой для того, чтобы ввести наноэлектронику в крупный масштаб, крупное производство в полупроводниковых заводах посредством объединения наноматериалов (например, углеродные нанотрубки, графен, квантовые точки, и т.д.). Так как полупроводниковые заводы должны включить методы, которые поддерживают высокую доходность, существуют очень строгие требования для того, как производство выполнено. Наноматериалы представляют потенциальный загрязнитель в полупроводниковых заводах и должны быть введены структурированным и методическим способом.