ASTM International

Standard Guide for Performing Sputter Crater Depth Measurements
 N E1634

Annotation

This guide covers the preferred procedure for acquiring and post-processing of sputter crater depth measurements. This guide is limited to stylus-type surface profilometers equipped with a stage, stylus, associated scan and sensing electronics, video system for sample and scan alignment, and computerized system.

The values stated in SI units are to be regarded as standard. No other units of measurement are included in this standard.

This standard does not purport to address all of the safety concerns, if any, associated with its use. It is the responsibility of the user of this standard to establish appropriate safety and health practices and determine the applicability of regulatory limitations prior to use.

Автоматический перевод:

Типичный гид для измерений глубины кратера Performing Sputter

Это руководство покрывает предпочтительную процедуру для получения и последующей обработки измерений глубины кратера распылителя. Это руководство ограничивается профилометрами поверхности типа стилуса, оборудованными этапом, стилусом, связанным сканированием и распознающейся электроникой, системой видео для выборки и согласования сканирования и автоматизированной системы.