ЭЛЕКТРОННАЯ ОЖЕ-СПЕКТРОСКОПИЯ

ЭОС

Auger electron spectroscopy; AES

Метод исследования объекта с помощью электронного спектрометра, основанный на регистрации энергетических спектров оже-электронов, испускаемых с поверхности объекта.

Примечание - В ЭОС в качестве ионизирующего излучения используют электронные пучки с энергией от 2 до 30 кэВ. В ЭОС объект также облучают ионами или применяют рентгеновское излучение. В случае применения в ЭОС рентгеновского излучения энергию оже-электронов отсчитывают относительно уровня Ферми, а при применении электронного пучка - уровня Ферми или уровня вакуума. В ЭОС регистрируют энергетические спектры оже-электронов и осуществляют дифференцирование электрическими методами непосредственно в процессе записи спектров.

[ISO 18115-1, статья 3.1]