МИКРОСКОПИЯ МЕДЛЕННЫХ ЭЛЕКТРОНОВ

ММЭ

low energy electron microscopy; LEEM

Метод исследования объекта с помощью микроскопа, формирующего изображение объекта или его дифракционной картины упруго отраженными электронами низких энергий, генерируемыми электронным пучком без сканирования поверхности объекта.

Примечания

1 ММЭ обычно применяют для получения информации об объектах, имеющих ровные чистые поверхности.

2 В ММЭ первичные электроны энергией от 1 до 100 эВ попадают на исследуемый объект, а отраженные электроны формируют увеличенное изображение поверхности этого объекта.

"ГОСТ ISO/TS 80004-6-2016 Нанотехнологии. Часть 6. Характеристики нанообъектов и методы их определения. Термины и определения" от 09.11.2016 г.