СКАНИРУЮЩАЯ ЗОНДОВАЯ МИКРОСКОПИЯ

СЗМ

scanning probe microscopy; SPM

Метод исследования объекта с помощью микроскопа, формирующего изображение объекта путем механического перемещения зонда и регистрации взаимодействия между зондом и поверхностью объекта.

Примечания

1 Термин "сканирующая зондовая микроскопия" является общим термином для таких понятий, как "атомно-силовая микроскопия" (АСМ), "сканирующая оптическая микроскопия ближнего поля" (СОМБП), "сканирующая микроскопия ионной проводимости" (СМИП) и "сканирующая туннельная микроскопия" (СТМ).

2 С помощью микроскопов, применяемых в различных методах СЗМ, можно получать изображения объектов с пространственным разрешением от атомарного, например в СТМ, до 1 мкм, например, в сканирующей термомикроскопии.