Ионно-лучевое травление; ионно-лучевое фрезерование
Список продуктов
Данный раздел/документ содержится в продуктах:
Данный раздел/документ содержится в продуктах:
- Техэксперт: Нормы, правила, стандарты и законодательство России
- Техэксперт: Нефтегазовый комплекс
- Техэксперт: Машиностроительный комплекс
ИОННО-ЛУЧЕВОЕ ТРАВЛЕНИЕ; ИОННО-ЛУЧЕВОЕ ФРЕЗЕРОВАНИЕ
Ion beam etching;
ion beam milling
Процесс управляемого удаления поверхностного слоя материала с подложки потоком ионов, полученным с помощью источника плазмы.
ИОННО-ЛУЧЕВОЕ ТРАВЛЕНИЕ; ИОННО-ЛУЧЕВОЕ ФРЕЗЕРОВАНИЕ
Ion beam etching; ion beam milling
Процесс управляемого удаления поверхностного слоя материала с подложки потоком ионов, полученным с помощью источника плазмы.
