Сухое травление
Список продуктов
Данный раздел/документ содержится в продуктах:
Данный раздел/документ содержится в продуктах:
- Техэксперт: Нормы, правила, стандарты и законодательство России
- Техэксперт: Нефтегазовый комплекс
- Техэксперт: Машиностроительный комплекс
СУХОЕ ТРАВЛЕНИЕ
Dry-etching
Процесс управляемого удаления поверхностного слоя материала с подложки с применением частично ионизированных газов.
СУХОЕ ТРАВЛЕНИЕ
Dry-etching
Процесс управляемого удаления поверхностного слоя материала с подложки с применением частично ионизированных газов.
