Химическое ионно-лучевое травление
Список продуктов
Данный раздел/документ содержится в продуктах:
Данный раздел/документ содержится в продуктах:
- Техэксперт: Нормы, правила, стандарты и законодательство России
- Техэксперт: Нефтегазовый комплекс
- Техэксперт: Машиностроительный комплекс
ХИМИЧЕСКОЕ ИОННО-ЛУЧЕВОЕ ТРАВЛЕНИЕ
Chemically assisted ion beam etching
Процесс управляемого удаления поверхностного слоя материала с подложки пучком ионов химически активного газа.
ХИМИЧЕСКОЕ ИОННО-ЛУЧЕВОЕ ТРАВЛЕНИЕ
Chemically assisted ion beam etching
Процесс управляемого удаления поверхностного слоя материала с подложки пучком ионов химически активного газа.
