Бош-травление; пассивационное травление
Список продуктов
Данный раздел/документ содержится в продуктах:
Данный раздел/документ содержится в продуктах:
- Техэксперт: Нормы, правила, стандарты и законодательство России
- Техэксперт: Нефтегазовый комплекс
- Техэксперт: Машиностроительный комплекс
БОШ-ТРАВЛЕНИЕ; ПАССИВАЦИОННОЕ ТРАВЛЕНИЕ
Bosch etching
Процесс управляемого удаления поверхностного слоя материала с подложки неоднократным чередованием циклов травления и пассивации, обеспечивающих формирование почти вертикальных элементов структуры объекта.
БОШ-ТРАВЛЕНИЕ; ПАССИВАЦИОННОЕ ТРАВЛЕНИЕ
Bosch etching
Процесс управляемого удаления поверхностного слоя материала с подложки неоднократным чередованием циклов травления и пассивации, обеспечивающих формирование почти вертикальных элементов структуры объекта.
