Осаждение фокусированным электронным пучком
Список продуктов
Данный раздел/документ содержится в продуктах:
Данный раздел/документ содержится в продуктах:
- Техэксперт: Нормы, правила, стандарты и законодательство России
- Техэксперт: Нефтегазовый комплекс
- Техэксперт: Машиностроительный комплекс
ОСАЖДЕНИЕ ФОКУСИРОВАННЫМ ЭЛЕКТРОННЫМ ПУЧКОМ
ОФЭП
focused electron-beam deposition
Химическое осаждение из газовой фазы с применением фокусированного (концентрированного) потока электронов для осаждения молекул исходного газообразного материала на заданных участках поверхности подложки.
ОСАЖДЕНИЕ ФОКУСИРОВАННЫМ ЭЛЕКТРОННЫМ ПУЧКОМ
ОФЭП
focused electron-beam deposition
Химическое осаждение из газовой фазы с применением фокусированного (концентрированного) потока электронов для осаждения молекул исходного газообразного материала на заданных участках поверхности подложки.
