Плазмонная литография
Список продуктов
Данный раздел/документ содержится в продуктах:
Данный раздел/документ содержится в продуктах:
- Техэксперт: Нормы, правила, стандарты и законодательство России
- Техэксперт: Нефтегазовый комплекс
- Техэксперт: Машиностроительный комплекс
ПЛАЗМОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ
Plasmonic lithography
Процесс формирования рельефного изображения размерами в нанодиапазоне путем облучения фоторезиста, покрывающего подложку, оптическим излучением через шаблон (представляющий собой металлическую плазмонную линзу), обеспечивающий возникновение ближнеполевого возбуждения, вызывающего изменения в фоторезисте.
ПЛАЗМОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ
Plasmonic lithography
Процесс формирования рельефного изображения размерами в нанодиапазоне путем облучения фоторезиста, покрывающего подложку, оптическим излучением через шаблон (представляющий собой металлическую плазменную линзу), обеспечивающий возникновение ближнеполевого возбуждения, вызывающего изменения в фоторезисте.
