НАНОТИСНЕНИЕ

Nano-embossing 

Процесс получения рельефного изображения путем вдавливания шаблона с заданным рисунком, размеры которого находятся в нанодиапазоне, в слой резиста, покрывающего подложку.

Примечания

1 Термин "нанотиснение" также распространяется на процесс формирования трехмерных наноструктур.

2 При нанотиснении физические свойства материала резиста не изменяются. Процесс нанотиснения отличается от процесса нанопечатной литографии тем, что получаемое изображение в слое резиста не требует дополнительной обработки.

"ГОСТ ISO/TS 80004-8-2016 Нанотехнологии. Часть 8. Процессы нанотехнологического производства. Термины и определения" от 09.11.2016 г.