Ионно-проекционная литография
Список продуктов
Данный раздел/документ содержится в продуктах:
Данный раздел/документ содержится в продуктах:
- Техэксперт: Нормы, правила, стандарты и законодательство России
- Техэксперт: Нефтегазовый комплекс
- Техэксперт: Машиностроительный комплекс
ИОННО-ПРОЕКЦИОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ
Ion projection lithography
Процесс получения рельефного изображения размерами в нанодиапазоне в слое резиста путем воспроизведения заданного шаблона с помощью пучка ускоренных ионов.
ИОННО-ПРОЕКЦИОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ
Ion projection lithography
Процесс получения рельефного изображения размерами в нанодиапазоне в слое резиста путем воспроизведения заданного шаблона с помощью пучка ускоренных ионов.
