Электронно-лучевая литография
Список продуктов
Данный раздел/документ содержится в продуктах:
Данный раздел/документ содержится в продуктах:
- Техэксперт: Нормы, правила, стандарты и законодательство России
- Техэксперт: Нефтегазовый комплекс
- Техэксперт: Машиностроительный комплекс
ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВАЯ ЛИТОГРАФИЯ
Electron-beam lithography
Процесс формирования рельефного изображения в слое резиста путем воспроизведения заданного шаблона с помощью фокусированного электронного пучка.
ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВАЯ ЛИТОГРАФИЯ
Electron-beam lithography
Процесс формирования рельефного изображения в слое резиста путем воспроизведения заданного шаблона с помощью фокусированного электронного пучка.
