Фотолитография в глубоком ультрафиолете
Список продуктов
Данный раздел/документ содержится в продуктах:
Данный раздел/документ содержится в продуктах:
- Техэксперт: Нормы, правила, стандарты и законодательство России
- Техэксперт: Нефтегазовый комплекс
- Техэксперт: Машиностроительный комплекс
ФОТОЛИТОГРАФИЯ В ГЛУБОКОМ УЛЬТРАФИОЛЕТЕ
ФГУ
deep ultraviolet lithography; DUV
Процесс формирования рельефного изображения в слое фоторезиста путем воспроизведения заданного шаблона с помощью ультрафиолетового излучения в диапазоне длин волн от 100 до 280 нм.
ФОТОЛИТОГРАФИЯ В ГЛУБОКОМ УЛЬТРАФИОЛЕТЕ
ФГУ
deep ultraviolet lithography; DUV
Процесс формирования рельефного изображения в слое фоторезиста путем воспроизведения заданного шаблона с помощью ультрафиолетового излучения в диапазоне длин волн от 100 до 280 нм.
