International Organization for Standardization

Surface chemical analysis — Analysis of metal oxide films by glow-discharge optical-emission spectrometry - First Edition
 N TS 25138

Annotation

This Technical Specification describes a glow-discharge optical-emission spectrometric method for the determination of the thickness, mass per unit area and chemical composition of metal oxide films.

This method is applicable to oxide films 1 nm to 10 000 nm thick on metals. The metallic elements of the oxide can include one or more from Fe, Cr, Ni, Cu, Ti, Si, Mo, Zn, Mg, Mn and Al. Other elements that can be determined by the method are O, C, N, H, P and S.

Автоматический перевод:

Поверхностный химический анализ — Анализ фильмов оксида металла спектрометрией оптической эмиссии тлеющего разряда - Первый Выпуск

Эта Техническая характеристика описывает оптическую эмиссию тлеющего разряда спектральный метод для определения толщины, массы на единицу площади и химического состава фильмов оксида металла.

Этот метод применим к оксидным пленкам от 1 нм до 10 000 нм толщиной на металлах. Металлические элементы оксида могут включать один или больше от Fe, Cr, Ni, меди, Ti, СИ, Миссури, Цинка, Mg, Миннесота и Эла. Другие элементы, которые могут быть определены методом, являются O, C, N, H, P и S.