International Organization for Standardization

Surface chemical analysis — Auger electron spectroscopy — Reporting of methods used for charge control and charge correction - First Edition
 N 29081

Annotation

This International Standard specifies the minimum amount of information required for describing the methods of charge control in measurements of Auger electron transitions from insulating specimens by electronstimulated Auger electron spectroscopy and to be reported with the analytical results. Information is provided in Annex A on methods that have been found useful for charge control prior to or during AES analysis. This annex also contains a table summarizing the methods or approaches, ordered by simplicity of approach. Some methods will be applicable to most instruments, others require special hardware, others might involve remounting the specimen or changing it. A similar International Standard has been published for X-ray photoelectron spectroscopy (ISO 19318[44]).

Автоматический перевод:

Поверхностный химический анализ — спектроскопия электрона Сверла — Создание отчетов методов, используемых для контроля за обвинением и исправления обвинения - Первый Выпуск

Этот Международный стандарт определяет минимальное количество информации, запрошенной для описания методов контроля за обвинением в измерениях перескоков электрона Оже от изолирования экземпляров electronstimulated спектроскопией электрона Оже и сообщаться с аналитическими результатами. Информация предоставляется в приложении A на методах, сочтенных полезными для контроля за обвинением до или во время анализа AES. Это приложение также содержит стол, суммирующий методы или подходы, заказанные простотой подхода. Некоторые методы будут применимы к большинству инструментов, другие требуют специальных аппаратных средств, другие могли бы включить переустановку экземпляра или изменение их. Подобный Международный стандарт был издан для спектроскопии фотоэлектрона рентгена (ISO 19318[44]).